超純水在半導(dǎo)體制造中扮演著關(guān)鍵角色,晶圓清洗、蝕刻、光刻膠去除和CMP后清洗等步驟都離不開它的參與。因此,超純水工藝的研發(fā)和應(yīng)用能力,是提升半導(dǎo)體制造精度和可靠性,推動(dòng)行業(yè)發(fā)展的重要保障。高頻科技作為國家級(jí)專精特新“小巨人”企業(yè),依托于自身堅(jiān)實(shí)的技術(shù)研發(fā)與實(shí)現(xiàn)能力,為客戶開發(fā)圍繞超純水的一系列解決方案,進(jìn)行系統(tǒng)交付,并提供持續(xù)可靠的運(yùn)維管理服務(wù)。公司通過不斷創(chuàng)新精進(jìn)的超純工藝能力,為半導(dǎo)體發(fā)展注入“芯”活力。

科研創(chuàng)新,專利護(hù)航,推動(dòng)超純工藝不斷精進(jìn)

作為微電子工藝用水,超純水中的金屬離子、有機(jī)物、細(xì)菌微生物、顆粒物,硅和溶解氣體等任何污染物超標(biāo),都可能對產(chǎn)品良率和性能產(chǎn)生影響,造成企業(yè)經(jīng)濟(jì)重大損失。因此,半導(dǎo)體企業(yè)對超純水水質(zhì)的要求極為嚴(yán)苛,無形中提升了超純水工藝的技術(shù)門檻。

近年來,憑借著技術(shù)創(chuàng)新驅(qū)動(dòng)和產(chǎn)業(yè)升級(jí),我國超純水制備工藝有了長足進(jìn)步。高頻科技作為聚焦于芯片制造等電子核心產(chǎn)業(yè)的超純水系統(tǒng)供應(yīng)商,專注超純水技術(shù)二十余年,秉持研發(fā)創(chuàng)新驅(qū)動(dòng)理念,不斷突破技術(shù)瓶頸,截至目前已攻克多項(xiàng)行業(yè)技術(shù)難題,并累積知識(shí)產(chǎn)權(quán)成果70余項(xiàng),涵蓋發(fā)明專利、實(shí)用新型專利、軟件著作權(quán)等知識(shí)產(chǎn)權(quán)。經(jīng)過持續(xù)研發(fā)投入與工藝探索,公司超純水系統(tǒng)制備的超純水純度可達(dá)ppt級(jí)別,離子含量僅萬億分之一,打破了國際廠商對國內(nèi)超純水系統(tǒng)高端市場的壟斷。高頻科技是國內(nèi)極少數(shù)能夠在芯片領(lǐng)域提供超純水系統(tǒng)的企業(yè),亦是國內(nèi)首家具備12英寸14nm芯片產(chǎn)線超純水制備能力的系統(tǒng)供應(yīng)商。未來公司將立足人才優(yōu)勢和先發(fā)優(yōu)勢,不懈研發(fā)創(chuàng)新,持續(xù)研發(fā)和優(yōu)化超純水工藝,為半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展帶去更堅(jiān)實(shí)的水質(zhì)保障。

技術(shù)創(chuàng)新挖掘降本增效潛力,賦能半導(dǎo)體企業(yè)競爭力提升

隨著半導(dǎo)體行業(yè)競爭日益激烈,降本增效成為企業(yè)發(fā)展的迫切需求。高頻科技將科技創(chuàng)新應(yīng)用于廢水處理、水資源回收利用及半導(dǎo)體水運(yùn)維等領(lǐng)域,全方位助力客戶實(shí)現(xiàn)成本降低和效率提升,從而增強(qiáng)其市場綜合競爭力。

高頻科技憑借先進(jìn)的電子級(jí)廢水處理技術(shù)和前瞻性設(shè)計(jì)能力,高效處理超過15種芯片廢水,并實(shí)現(xiàn)深度去除污染物,同時(shí)通過精細(xì)化的水資源管理,對30多道制程廢水進(jìn)行分流和回收,確保了高達(dá)90%的整廠用水制備回收率。這一綜合水處理循環(huán)系統(tǒng)不僅保證了水質(zhì)達(dá)標(biāo),還顯著提升了企業(yè)對水資源的利用效率,從而提高了降本增效和可持續(xù)發(fā)展能力。

此外,高頻科技通過一體化的“設(shè)計(jì)—交付—運(yùn)維”服務(wù)模式,結(jié)合自研的半導(dǎo)體超純水運(yùn)維數(shù)字化平臺(tái),提供專業(yè)定制化解決方案,確保了超純水系統(tǒng)運(yùn)行的穩(wěn)定性和水質(zhì)一致性。該平臺(tái)融合數(shù)字孿生技術(shù),實(shí)現(xiàn)精細(xì)化管理,優(yōu)化成本,并通過多元化運(yùn)維服務(wù)(如故障診斷、設(shè)備管理、水質(zhì)監(jiān)測、系統(tǒng)優(yōu)化、專家指導(dǎo))提升系統(tǒng)性問題監(jiān)測水平,滿足半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈客戶對高效、柔性生產(chǎn)的需求。

半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同發(fā)展有利于行業(yè)更快進(jìn)步。超純水作為產(chǎn)業(yè)鏈的重要一環(huán),其穩(wěn)定供應(yīng)和技術(shù)創(chuàng)新對提升產(chǎn)業(yè)鏈效率至關(guān)重要。高頻科技作為本土超純水領(lǐng)域的代表性企業(yè),未來將持續(xù)專注于超純工藝技術(shù)的研發(fā)創(chuàng)新,為半導(dǎo)體企業(yè)提升效率、降低成本及緩解水資源壓力等方面發(fā)揮更加顯著的作用。

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